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  (1)高效過濾器安裝以后必須要進行檢漏;
    (2)要計算 DOP 的發塵量及系統風量,確定DOP 導入地點;
    (3)要測量高效過濾器上游的粒子濃度;
    (4)根據規范按 0.5μm 的粒徑來檢漏,需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏,建議可按 ISO14644-3 的標準來確定 K 值;
    (5)建議采用 28.3 L/min 的粒子計數器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計數器,必須控制掃描速度。  
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