頂立科技臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
概述:化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
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臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。
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可根據客戶需求設計尺寸,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;
采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格
參數\型號 | HCVD-060609-C | HCVD-080812-C | HCVD-101015-C | HCVD-121225-C | HCVD-151530-C |
工作區尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 800×800×1200 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2500 | 1500×1500×3000 |
最高溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
極限真空度(Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇
爐門:鉸鏈回轉式/臺車平移式;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
真空泵和真空計:進口/國產
人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機
PLC:歐姆龍/西門子
控溫儀表:日本島電/英國歐陸
熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產
電器元件:正泰/施耐德/西門子
料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
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