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頂立科技臥式化學氣相沉積爐(沉積炭) 

概述:化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
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2022-11-07 16:43:06 點擊59592次
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全國
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18874256050
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描述:4.0  產品質量:4.0
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臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

可根據客戶需求設計尺寸,能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求;

采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。


臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

參數\型號 HCVD-060609-C HCVD-080812-C HCVD-101015-C HCVD-121225-C HCVD-151530-C
工作區尺寸 W×H×L(mm) 600×600×900 800×800×1200 1000×1000×1500 1200×1200×2500 1500×1500×3000
最高溫度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
極限真空度(Pa) 50 50 50 50 50
壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

爐門:鉸鏈回轉式/臺車平移式;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC   

加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產    

真空泵和真空計:進口/國產 

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機     

PLC:歐姆龍/西門子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸   

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產   

電器元件:正泰/施耐德/西門子

料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車


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